财中社12月6日电国信证券发布半导体行业光刻机产业深度系列专题叙述开yun体育网，光刻是先进制程的要道尺度，半导体产业的基石，当今光刻机商场迎国产化机遇。光刻是一种图像复制时期，在芯片制造历程中耗时最长，资本占比最高。手脚先进制程的要道尺度，光刻分辨率决定了元件的最小特征尺寸与芯片的集成度。光刻机为半导体开采金冠上的明珠，光学系统是其最紧迫的子系统之一。光刻机手脚通盘半导体制造开采中难度最高、最难八成的一环，占晶圆坐蓐开采总商场的24%。

行家光刻机千亿东说念主民币商场限制且保握高速增长。商场限制方面，2011年光刻机商场限制257亿好意思元。把柄Market Intelligence，预测2022-2028年行家光刻机商场限制CAGR有望达到6%。出货量方面，ASML、Nikon、Canon三大光刻机供应商占据了99%以上商场份额，出货量稳步缓助，2019-2023年CAGR达16.75%。光刻机行业属于寡头控制风物，商场份额逼近，ASML出货量市占率63%，营收市占率81%。在高端光刻机（EUV、ArFi、ArF）商场，ASML的出货量占据上风，市占率诀别为100%/95%/87%。

国产光刻机空间深广、任重说念远。陆资晶圆代工场产能握续彭胀带动光刻机需求缓助，好意思日荷对华先进制程禁闭开yun体育网，光刻机国产化大势所趋。上海微电子手脚当今国内惟一前说念光刻机整机制造商，其自主研发的600系列前说念光刻机可批量坐蓐90nm工艺的芯片，500系列后说念制造光刻机占据80%以上国内商场。国产供应链方面，科益虹源手脚我国惟一、行家第三家从事光刻准分子激光时期全链条研发的公司，193nm ArF准分子激光器完成出货。国望光学研发面向28nm节点的ArFi光刻曝光光学系统，国科精密团队得手研制国内首套NA0.75 ArF曝光光学系统。华卓精科与清华大学团队握续攻坚浸没式光刻机用双工件台DWSi。